изоляция канавками, сформированными вертикальным анизотропным травлением

izoliavimas stačiai anizotropiškai ėsdintais grioveliais statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. vertical anisotropic etching isolation vok. Isolation mittels vertikaler anisotroper Ätzgraben, f rus. изоляция канавками, сформированными вертикальным анизотропным травлением, f pranc. isolation par rainures formées par décapage vertical anisotrope, f